圧縮状態に保持したのちに力を取り去ると、もとの形状に復元するのが理想的な弾性体であるが、現実のゴムでは、与えた変形の一部がそのまま永久変形として残る。その割合を圧縮永久ひずみ(率)という。数字が小さいほど理想的な弾性体に近いが、適当に加硫されたシリコーンゴムは、低温から高温にわたる広い温度範囲で圧縮永久ひずみの小さいのが特徴である。この測定方法は、JIS K 6301,JIS C 2123などに規程されている。